四川光刻机之G-25XA型高精密光刻机的产品介绍：

一、 设备的主要用途及特点

本设备主要适用于对Φ100mm以下，厚度为5mm以下的各种基片光刻（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片）

二、主要技术指标

1、对准精度：±0.5μm。

2、微动台扫描范围±20mm，X、Y可调范围±4mm。

3、承片台上下可移动范围为5mm，改为旋转角度≤90°。

4、采用多点光源曝光头，光源采用GCQ350Z型高压水银直流汞，风冷，（光强稳定可调，不用频繁更换汞灯），光的不均匀性≤±4%(Φ100 mm范围之内) ，出射光束ΦMAX为Φ120mm。

5、采用双目分离视场显微镜，放大倍数50X×375X(可采用双CCD加液晶监视器来显示，放大倍数30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫南光机械设备有限公司是一家专业从事四川真空泵,四川光刻机,四川氢气炉生产及销售批发工作的企业,咨询电话:13908187709,028-85730519,拥有专 业的技术装备和独特的设计,具有丰富的专用设备装配调试技术和经验。